Keresés
1 találatból megjelenítve: 1-1
Cím: Atomi rétegleválasztással készített oxidrétegek készítése és minősítése
Szerző:
Dátum: 2016
Feltöltve: 2016-11-21
(2016)
A dolgozatomban bemutatásra került egy kémiai gázfázisú eljárás, az atomi rétegleválasztás, amely egy alkalmas technika vékonyrétegek készítésére. A szakdolgozatomban megvizsgáltam, hogyan befolyásolja a leválasztási ...